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最后更新：2025-11-13
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生產(chǎn)企業(yè)：北京歐屹科技有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹針對相位差差別比較小的樣品，要求測量速度高的應用，專門開發(fā)了PA系列的產(chǎn)品，測量速度快是核心
型號 PA-110 PA-110-L
測量范圍 0-130nm
重復性 <1.0nm
像素數(shù) 1120x868
測量波長 520nm
尺寸 310x395x605.5mm 450x538x915.5mm
觀測到的最大面積 100x136mm 250x300mm
重量 18kg 24kg
數(shù)據(jù)接口 GigE（攝像機信號） RS232C（電機控制）
電壓電流 AC100-240V（50/60Hz）
軟件 PA-View
在PA系類設備的基礎上，加裝晶圓專用的裝置，可以高效精確的測量SIC和藍寶石這類光學性能特殊的產(chǎn)品的雙折射和殘余應力的信息。
應力雙折射測量儀主要特點：
操作簡單，測量速度可以快到3秒。
視野范圍內(nèi)可一次測量，測量范圍廣。
更直觀的全面讀取數(shù)據(jù)，無遺漏數(shù)據(jù)點。
具有多種分析功能和測量結(jié)果的比較。
維護簡單，不含旋轉(zhuǎn)光學濾片的機構(gòu)。
高達2056x2464像素的偏振相機。
應力雙折射測量儀應用領(lǐng)域:
SIC
藍寶石
應力雙折射測量儀技術(shù)參數(shù)：
項次 項目 具體參數(shù)
1 輸出項目 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應力換算（選配）【MPa】
2 測量波長 520nm
3 雙折射測量范圍 0-130nm
4 測量最小分辨率 0.001nm
5 測量重復精度 <1nm（西格瑪）
6 視野尺寸 40x48mm到240x320mm（標準）
7 選配鏡頭視野 不適用
8 選配功能 實時解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實現(xiàn)外部控制
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2017-04-26
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